Анализа захтева перформанси одтитанијумске метеу различитим индустријама
Гмаил:alisa@jmyunti.com
И. Основни захтеви перформанси титанијумских мета
① Чистоћа: Као један од главних индикатора перформанси циљаних материјала, чистоћа има витални утицај на перформансе танких филмова. У практичним применама, захтеви за чистоћом циља варирају од индустрије до индустрије. На пример, у индустрији микроелектронике, са сталним повећањем величине силицијумске плочице и континуираним смањењем ширине ожичења, захтеви за чистоћом циља се такође повећавају. У прошлости је циљна чистоћа од 99,995% могла да испуни захтеве процеса 0.35ум ИЦ, али сада припрема линија 0.18ум захтева да циљна чистоћа достигне 99,999% или чак 99,9999%.
② Садржај нечистоћа: Нечистоће у циљној чврстој материји и кисеоник и водена пара у порама су главни извори загађења за депоноване филмове. Стога, мете различите намене имају различите захтеве за садржај нечистоћа. На пример, мете од чистог алуминијума и легура алуминијума које се користе у индустрији полупроводника имају посебне захтеве за садржај алкалних метала и садржај радиоактивних елемената.
③ Густина: Да би се смањиле поре у циљној чврстој материји и побољшале перформансе распршеног филма, обично се захтева да мета има већу густину. Густина циљног материјала не утиче само на брзину распршивања, већ утиче и на електрична и оптичка својства филма. Поред тога, побољшање густине и чврстоће циљаног материјала такође може учинити да он боље издржи топлотни стрес током процеса прскања. Према томе, густина је такође један од кључних индикатора учинка циљног материјала.
④ Величина зрна и дистрибуција величине зрна: Циљни материјал је обично поликристална структура, а величина зрна може да се креће од микрона до милиметара. За исти циљни материјал, брзина прскања мете са финим зрнима је обично већа од оне мете са крупним зрнима; а дистрибуција дебљине филма нанесеног распршивањем мете са малом разликом у величини зрна (уједначена дистрибуција) је равномернија.
2. Захтеви за чистоћу за мете од титанијума у различитим индустријама
① Титанијумске мете које се користе у интегрисаним колима: Интегрисана кола имају изузетно високе захтеве за чистоћу за мете од титанијума, обично веће од 99,995% да би се обезбедиле перформансе и стабилност филма.
② Титанијумске мете које се користе у равним екранима: Дисплеји са равним екраном обухватају дисплеје са течним кристалима, плазма дисплеје, електролуминисцентне дисплеје и екране за емитовање поља. Ови дисплеји често користе технологију наношења премаза за наношење танких филмова током процеса производње. Међу њима, титанијумске мете, као једна од важних мета за распршивање, обично морају да имају чистоћу већу од 99,9%. Поред тога, титанијумске мете се такође могу широко користити у областима високе технологије као што су електроника, информациона индустрија, уређење дома и производња аутомобилског стакла. У овим индустријама, титанијумске мете се углавном користе за премазивање интегрисаних кола, равних дисплеја или као декорација и премаз стакла. Оптимизацијом перформанси и чистоће титанијумских мета, могу се испунити захтеви различитих индустрија за перформансе и стабилност филма.
Компанија: Баоји Динамиц Традинг Цо., Лтд
Држава: Кина
Додајте: Баоти пут, Јинтаи, град Баоји, Схаанки, Кина
Цел:+86 18391896637(ВХАТСАПП)/18391894207
Гмаил:alisa@jmyunti.com
Веб сајт: ввв.јм-титаниум.цом
